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间座 ,精度等级 尺寸,31500 51500 68500 52000 104000 157000 0.275 ,M ,〈计算内容〉 ,312 ,Lo ,MC-CV05010-00 ,图 V-1·3-7 图 V-1·3-8 ,半导体制造装置,② d·n 值 ,2002/ 11 ,上,π,φ28+0.05,PCD ,40° ,6.3 1.6 ,FA 系列 : 轴端成品 (中导程)丝杠轴直径 φ12, 导程 10 ,100 950 -0.014 0.030 0.023 0.075 ,W X ,ZFD5012-6 50 12 14 14 167 φ64 MAXφ67 ,60 10 37.5 120 100 80 11×15 10 50 13 Rc1/8 10 13 ,固定 - 支撑 ,0的值记载在“选用资料篇 A-V 直线导轨的尺寸表”中。,. 50以下. 2. 2. 4.5. 6. 6 ,推力滚珠轴承和径向轴承 大 小 复杂 复杂 ,HS30EM 42 9 31 90 176.1 72 120 60 M10×1.5×12 (M10×1.5×14.5) 8.6 9 150.7 15.35 33 11 (15) M6×0.75 8 11 ,Ⅰ -0.035 0.054 0.035 0.150 10.2 2020 2180 ,L ,(2处) ,直动式导向产品(直线导轨)合成树脂滑动板,尺寸 ,括号里的尺寸适用于不锈钢件。,图 Ⅰ -3·27 支撑单元 VFA 型用 ,10 ,LA55  BL, BN, GL, HL 9550 12100 1840 2020 ,基本额定负载 (N) ,表Ⅵ -4·1 高度的区分单位:μm,MC-CV05005-00 ,零件颈长度时,请与 NSK协商。 ,δ,67 ,φY沉孔深度Z ,额定静负 ,T ,(4)滚珠保持架 NSK S1   ,螺母 ,45° ,轴摆动 ,轨道长度(mm) 精度等级 PN:普通级 P6:准精密级 P5:精密级 P4:超精密级 ,螺母型号 MPFD、MSFD ,大负载容量 , , HA25 M6 LG-CAP/M6 ,2δa,.....预压符号 ·0:Z0,间, 1.精度…………………………B41 ,VH系列 , (参阅 A119页),●由于在充分的脱脂清洗后,对产品进行了防锈包装,所以请尽量在使用时开封。 ,◎ ,·,J1J J1J ,(2)导程的选定 ,高负载驱动用滚珠丝杠 技术数据表(例) ,2500~ 3150 6 11 17 25 32 32 , 计算由装载物重量 W2引起的位移。直线导轨 ,51 — 85 26 34 42 12 — 67 ,1.7×2 9620 21000 260 ,188 ,润滑脂 ,LH20 LH20FS-01 ,●△ ,*追加设计编号,电火花加工机床,产品符号 ,刚性 ,3.产品分类 ,扭矩(油润滑时,起动扭矩相当于表中数值的 1.4 倍)。 ,各种机器手,PSS2550N1D1563 1 200 1 276 1 390 1 430 1 563 ,14 — — ,LS15 LS15FS-01 ,φY沉孔深度Z , 30° ,5列 1.19 1.46,Fs ,螺栓孔 ,310 425 0.060 0.44 ,轴向间隙 ,注 / ●表中的基本额定动载荷、基本额定静载荷是单个滑块的数值。●直线导轨部位的额定载荷是指直到 100万转都不会出现由于 90%滚动疲劳导致疲劳剥落现象,并与滚珠丝杠、支撑滑块部位相同,能运行到规定“走行距离”的径向载荷。●滚珠丝杠部位的基本额定动载荷是指在相同条件下,一组滚珠丝杠旋转时,其中 90%没有出现滚动疲劳现象,连续旋转至 100万转时的轴向载荷。●支撑滑块部位的基本额定动载荷是指额定疲劳寿命达到 100万转时方向和大小都没有变化的载荷。●各部位基本额定表载荷是指滚珠旋转面与滚珠永久变形的总和达到滚珠直径 0.01%时的载荷。,高速使用时,   (mm) 以下 8 12 20 32 50 80 125 8 12 20 32 50 80 125 ,L ,6+$/ 6+%/          0hh        5F   ,丝杠轴 轴承支撑部 三角螺纹 锁环槽 六角孔 支撑单元 ,L ,螺母 ,PSS1530N1D1229 1 000 1 059 1 130 1 154 1 229 ,预压:Z1工作台尺寸:460mm×380mm原系列8滑块行程 200mm,164 , ,267 ,t2=1.0 ,抗腐蚀.,(2片侧密封)护板,υ 2π ·在丝杠 部分有效 长度内,针对任意1圈转动(2πrad)的最大幅度。表Ⅱ -1·3 ,40 , (4)变位预测计算,俯视X-X ,-0.011 0.027 0.020 0.070 1.7 3000 3000 ,AR ,② d·n 值 ,LS系列,载作用于上下方向时,即使通常没有接触的面也可承受负载。,78 120 98 56 ,φdi ,轨道长度(mm),楔块 型号 WED型,长度 ,5 , 护板 * - ,注油孔 ,极限 ,HA30EM 42 7.5 31 90 177.2 72 120 60 M10×1.5×12 8.6 9 149 14.5 34.5 11 M6×0.75 6.5 11 ,★,真  空 大气~真空、常温大气~真空、~ 200℃大气~真空、~ 300℃高真空、~ 500℃ 马氏体不锈钢 马氏体不锈钢  奥氏体不锈钢 含氟润滑脂二硫化钼特殊银覆膜 D7 ,Lt La Lo L1 ,★ ,图Ⅴ -1·6-11 ,(a)固定 -- 自由端(轴向)的情况下: ,   dm:滚珠间距圆径(cm) ,直角度 ,K J,额定静负载 ,HTF 型 ,SH35 BN、BL、GL、HL、GM 490 2840 411 755 284 529 ,6-φX通孔 ,丝杠轴长度 B222 ,  5.1 ..定制滚珠 ,UPFC 1632-1 P ,安装孔 , 12 1.2 - - - ,103 145 ,2.5×2 544000 2560000 ,B,23 43 11 ,沟槽,图Ⅲ -2 . 4 内循环式循环部分构造 ,宽度 ,8×1/ 右 ,2 ,L ,滑块主体端盖标准位置 ,14 — — ,固定 - 支持 固定 - 固定 ,的安装面平直度的影响。但是,若配置为通常使用 为安装面平直度的1/5。 ,备注:BL数3、5、7…奇数值可用相邻的BL偶数值相加然后除以2得出。为使 SS系列的特点充分地发挥,建议在清洁的环境中使用。,外径 ,.. 0&0 0&0 0&0  0&0 0&0 0&0 0&+ 0&+ 0&+ ,螺母 ,-0.028 0.046 0.030 0.080 23.1 1400 1400 ,a)C-C (NSK 推荐) b)T-T (NSK 推荐) C)T-C d)C-T ,公称型号 ,413 173 213 40 17 193 116 135 233 109.25 100 240 ,导程 8、10(mm) ,种类,短型 JL、CL、KL、JM 77 90 ,带轴承的轻预压单螺母 侧面固定轻预压单螺母 ,PCD W ,ZFT 2504-5 Z 2.5×1 5270 13600 379 ,Lt La Lo T ep υu ,HF-KP053(50W), HF-MP053(50W), HC-KFS053(50W), HC-MFS053(50W) ,W ,·,·, 标准 5 - ,6-φX通孔 ,22.5° ,论值。轴向负载和预压量与上述条件不符合时,或考虑到滚珠螺母本身的变形等,请参照“技术解说”(B41 页)。 ,·在公称型号中(参照各系列)省略了Z。,外径 ,|<           , 各尺寸的“型号”以及“滚珠丝杠公称型号”如下。 ,准值 ,★, ,82 ,不锈钢品:S、特殊高碳素钢(NSK标准材料):无符号尺寸编号,组装宽度对 W2或 W3的相互差 25 30 ,后加工部 ,负载 Ca B398 ,MCM02 1 50 100 50 ,φDg6 ,丝杠轴部分的长度(100mm 单位) ,△ ,SS30 标准 AL、EL、FL、EM 96.4 108.4 5.0 1.0 (14) ,1 间座 ,精度等级 尺寸,31500 51500 68500 52000 104000 157000 0.275 ,M ,〈计算内容〉 ,312 ,Lo ,MC-CV05010-00 ,图 V-1·3-7 图 V-1·3-8 ,半导体制造装置,② d·n 值 ,2002/ 11 ,上,π,φ28+0.05,PCD ,40° ,6.3 1.6 ,FA 系列 : 轴端成品 (中导程)丝杠轴直径 φ12, 导程 10 ,100 950 -0.014 0.030 0.023 0.075 ,W X ,ZFD5012-6 50 12 14 14 167 φ64 MAXφ67 ,60 10 37.5 120 100 80 11×15 10 50 13 Rc1/8 10 13 ,固定 - 支撑 ,0的值记载在“选用资料篇 A-V 直线导轨的尺寸表”中。,. 50以下. 2. 2. 4.5. 6. 6 ,推力滚珠轴承和径向轴承 大 小 复杂 复杂 ,HS30EM 42 9 31 90 176.1 72 120 60 M10×1.5×12 (M10×1.5×14.5) 8.6 9 150.7 15.35 33 11 (15) M6×0.75 8 11 ,Ⅰ -0.035 0.054 0.035 0.150 10.2 2020 2180 ,L ,(2处) ,直动式导向产品(直线导轨)合成树脂滑动板,尺寸 ,括号里的尺寸适用于不锈钢件。,图 Ⅰ -3·27 支撑单元 VFA 型用 ,10 ,LA55  BL, BN, GL, HL 9550 12100 1840 2020 ,基本额定负载 (N) ,表Ⅵ -4·1 高度的区分单位:μm,MC-CV05005-00 ,零件颈长度时,请与 NSK协商。 ,δ,67 ,φY沉孔深度Z ,额定静负 ,T ,(4)滚珠保持架 NSK S1   ,螺母 ,45° ,轴摆动 ,轨道长度(mm) 精度等级 PN:普通级 P6:准精密级 P5:精密级 P4:超精密级 ,螺母型号 MPFD、MSFD ,大负载容量 , , HA25 M6 LG-CAP/M6 ,2δa,.....预压符号 ·0:Z0,间, 1.精度…………………………B41 ,VH系列 , (参阅 A119页),●由于在充分的脱脂清洗后,对产品进行了防锈包装,所以请尽量在使用时开封。 ,◎ ,·,J1J J1J ,(2)导程的选定 ,高负载驱动用滚珠丝杠 技术数据表(例) ,2500~ 3150 6 11 17 25 32 32 , 计算由装载物重量 W2引起的位移。直线导轨 ,51 — 85 26 34 42 12 — 67 ,1.7×2 9620 21000 260 ,188 ,润滑脂 ,LH20 LH20FS-01 ,●△ ,*追加设计编号,电火花加工机床,产品符号 ,刚性 ,3.产品分类 ,扭矩(油润滑时,起动扭矩相当于表中数值的 1.4 倍)。 ,各种机器手,PSS2550N1D1563 1 200 1 276 1 390 1 430 1 563 ,14 — — ,LS15 LS15FS-01 ,φY沉孔深度Z , 30° ,5列 1.19 1.46,Fs ,螺栓孔 ,310 425 0.060 0.44 ,轴向间隙 ,注 / ●表中的基本额定动载荷、基本额定静载荷是单个滑块的数值。●直线导轨部位的额定载荷是指直到 100万转都不会出现由于 90%滚动疲劳导致疲劳剥落现象,并与滚珠丝杠、支撑滑块部位相同,能运行到规定“走行距离”的径向载荷。●滚珠丝杠部位的基本额定动载荷是指在相同条件下,一组滚珠丝杠旋转时,其中 90%没有出现滚动疲劳现象,连续旋转至 100万转时的轴向载荷。●支撑滑块部位的基本额定动载荷是指额定疲劳寿命达到 100万转时方向和大小都没有变化的载荷。●各部位基本额定表载荷是指滚珠旋转面与滚珠永久变形的总和达到滚珠直径 0.01%时的载荷。,高速使用时,   (mm) 以下 8 12 20 32 50 80 125 8 12 20 32 50 80 125 ,L ,6+$/ 6+%/          0hh        5F   ,丝杠轴 轴承支撑部 三角螺纹 锁环槽 六角孔 支撑单元 ,L ,螺母 ,PSS1530N1D1229 1 000 1 059 1 130 1 154 1 229 ,预压:Z1工作台尺寸:460mm×380mm原系列8滑块行程 200mm,164 , ,267 ,t2=1.0 ,抗腐蚀.,(2片侧密封)护板,υ 2π ·在丝杠 部分有效 长度内,针对任意1圈转动(2πrad)的最大幅度。表Ⅱ -1·3 ,40 , (4)变位预测计算,俯视X-X ,-0.011 0.027 0.020 0.070 1.7 3000 3000 ,AR ,② d·n 值 ,LS系列,载作用于上下方向时,即使通常没有接触的面也可承受负载。,78 120 98 56 ,φdi ,轨道长度(mm),楔块 型号 WED型,长度 ,5 , 护板 * - ,注油孔 ,极限 ,HA30EM 42 7.5 31 90 177.2 72 120 60 M10×1.5×12 8.6 9 149 14.5 34.5 11 M6×0.75 6.5 11 ,★,真  空 大气~真空、常温大气~真空、~ 200℃大气~真空、~ 300℃高真空、~ 500℃ 马氏体不锈钢 马氏体不锈钢  奥氏体不锈钢 含氟润滑脂二硫化钼特殊银覆膜 D7 ,Lt La Lo L1 ,★ ,图Ⅴ -1·6-11 ,(a)固定 -- 自由端(轴向)的情况下: ,   dm:滚珠间距圆径(cm) ,直角度 ,K J,额定静负载 ,HTF 型 ,SH35 BN、BL、GL、HL、GM 490 2840 411 755 284 529 ,6-φX通孔 ,丝杠轴长度 B222 ,  5.1 ..定制滚珠 ,UPFC 1632-1 P ,安装孔 , 12 1.2 - - - ,103 145 ,2.5×2 544000 2560000 ,B,23 43 11 ,沟槽,图Ⅲ -2 . 4 内循环式循环部分构造 ,宽度 ,8×1/ 右 ,2 ,L ,滑块主体端盖标准位置 ,14 — — ,固定 - 支持 固定 - 固定 ,的安装面平直度的影响。但是,若配置为通常使用 为安装面平直度的1/5。 ,备注:BL数3、5、7…奇数值可用相邻的BL偶数值相加然后除以2得出。为使 SS系列的特点充分地发挥,建议在清洁的环境中使用。,外径 ,.. 0&0 0&0 0&0  0&0 0&0 0&0 0&+ 0&+ 0&+ ,螺母 ,-0.028 0.046 0.030 0.080 23.1 1400 1400 ,a)C-C (NSK 推荐) b)T-T (NSK 推荐) C)T-C d)C-T ,公称型号 ,413 173 213 40 17 193 116 135 233 109.25 100 240 ,导程 8、10(mm) ,种类,短型 JL、CL、KL、JM 77 90 ,带轴承的轻预压单螺母 侧面固定轻预压单螺母 ,PCD W ,ZFT 2504-5 Z 2.5×1 5270 13600 379 ,Lt La Lo T ep υu ,HF-KP053(50W), HF-MP053(50W), HC-KFS053(50W), HC-MFS053(50W) ,W ,·,·, 标准 5 - ,6-φX通孔 ,22.5° ,论值。轴向负载和预压量与上述条件不符合时,或考虑到滚珠螺母本身的变形等,请参照“技术解说”(B41 页)。 ,·在公称型号中(参照各系列)省略了Z。,外径 ,|<           , 各尺寸的“型号”以及“滚珠丝杠公称型号”如下。 ,准值 ,★, ,82 ,不锈钢品:S、特殊高碳素钢(NSK标准材料):无符号尺寸编号,组装宽度对 W2或 W3的相互差 25 30 ,后加工部 ,负载 Ca B398 ,MCM02 1 50 100 50 ,φDg6 ,丝杠轴部分的长度(100mm 单位) ,△ ,SS30 标准 AL、EL、FL、EM 96.4 108.4 5.0 1.0 (14) ,1

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